طراحی، ساخت و مطالعه حسگر اتانول بر پایه لایه های نازک (TiO(۲

حسگرهای اتانول مبتنی بر لابه های نازک (TiO(۲ با استفاده از کندوپاش مغناطیسی RF ساخته شدند. ساختار بلوریدستگاه، ریخت شناسی سطح و عملکرد سنجش گاز با تغییر توان کندوپاش مورد بررسی قرار گرفت، ویژگی های حسگر بااستفاده از پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ نیروی اتمی و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی مورد مطالعه قرارگرفت. نمونه های ساخته شده در توان های پایین (۱۰۰ و ۲۰۰w) ساختاری چهارضلعی با فاز مخلوط آناتاز و روتایلداشتند در حالی که نمونه ی انباشت شده در توان ۳۰۰w، یک فاز آناتاز را نشان می دادند. نتایج نشان داد که تغییر توانکندوپاش به دلیل تغییر در ساختار بلوری، فاز و ریخت شناسی سطح. تاثیر قابل توجهی بر عملکرد سنجش گاز اتانولدستگاه ها دارد. نمونه ی تولید شده با توان کندوپاش ۲۰۰w حساسیت بیشتری نسبت به نمونه های دیگر و گزارش هاییکه تاکنون ارائه شده است؛ نشان داد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، (TiO(۲ ، توان کندوپاش ، حساسیت ، قابلیت اطمینان پذیری ، اتانول